증착결과 보고서
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작성일 23-11-07 20:22
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⑩ 진공도를 이온게이지를 이용하여 수시로 확인해 주면서 기다린다.
⑥ 진공의 정도를 까지 (Tube 안이 무색이 될 때) 확인한다. 그리고 Leak Valve를 열어 공기를 주입한다.
⑭ Diffusion Pump가 냉각되면 Forel…(skip)
2.實驗 결과
3.또 다른 증착 방법
설명
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순서
레포트/공학기술
다.
⑬ 증착이 끝나면 서서히 전류를 차단하고 Main Valve를 잠근다.
⑦ Rough Valve를 잠그고, Foreline Valve를 연 후, Diffusion Pump를 ON으로 한다.
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