바이오나노학부 나노 工學實驗 보고서 CFL Capillary Force Lithography
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작성일 23-01-18 17:04
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경우에 따라 시간이 걸릴 수도 있다 본 experiment(실험)은 약 1주일 정도가 지난 후 wafer를 꺼냈음을 미리 알린다. 단순히 Mask를 놓고 찍어내는 방식이 아니라 고분자의 capillary force를 이용해서 넓은 범위의 pattern을 나타낼 것이다. 이는 substrate에 두꺼운 polymer layer를 형성하여 elastomeric mold(탄성체 주형)에 용매를 wetting 하여표면에 thin layer만 패턴을 형성하는 방법이다. PS의 농도는 10%이다. wafer가 녹을 수도 있으므로 바닥에 닿지 않도록 올려놓는다.
③ 약 1시간이 지나면 꺼내어 경화를 판별한다.
3) overall
① PDMS의 경화가 끝나면 master에서 떼어낸다. Capillary force는 고분자 patterning에서 중요한 concept(개념)이 된다 액체가 모세관을 적시면, 낮은 Gibbs free energy를 가지게 된다 이 wetting이 Capillary를 일으킨다고 할 수 있다 대표적인 방법이 micromolding in capillary 이다.
⑤ 20분 정도 기다린 후 wafer를 꺼낸다. 30초 3000rpm으로 spin coating 한다. 완전히 굳을 때까지 기다린다.
이 CFL은 한마디로 열을 가해서 고분자의 유동성을 유발하는 nanoimprinting과 microcontact printing의 결합 형태이다.
② 원하는 master를 잘라낸다.
4. Result.
5. Sem Picture
6. Discussion
설명
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다. 그 결과 imprint의 뛰어난 패턴 형성과 압력을 가할 필요가 없는 microcontact의 장점(長點)을 동시에 갖는다…(To be continued )
