[공학] [소재공정test(실험) ] 박막공학 - PVD 와 CVD에 관해
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작성일 23-08-07 13:47
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막
박
_SLIDE_5_
Physical Vapor Deposition
진공 중에서 금속을 기화시켜 기판에 증착.
vaporation
E
1. 증착 하려는 source material을 도가니에 넣고 가열.
2. Source material이 기체상태가 되어 기판의 표면에 충돌.
3. 충돌된 기체상태의 금속원자가 기판에 증착됨.
Hermal EvaporationT
-beam Evaporation
E
_SLIDE_6_
Physical Vapor Deposition
높은 에너지를 갖는 미립자들에 의한 충돌에 의해…(skip)
다.
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[공학] [소재공정test(실험) ] 박막공학 - PVD 와 CVD에 관해
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실험과제/기타
_SLIDE_1_
소재공정experiment(실험)
PVD 와 CVD
PVD 와 CVD
PVD 와 CVD
Thin film Process and analysis
Thin film Process and analysis
Thin film Process and analysis
_SLIDE_2_
구 성
원리 및 종류 그리고 특징
1
PVD
원리 및 종류 그리고 특징
2
CVD
2/16
_SLIDE_3_
Thin Film Application
_SLIDE_4_
Thin Film
부피대비 표면적 비율이 높은 막을 의미하며 ㎚ ~ ㎛ 단위를 지닌다.
