[자연과학]무기화학實驗(실험) - XPS[ESCA]의 원리와 characteristic(특성), XPS 장치에 대해서
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작성일 24-06-24 03:57
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실험과제/화학
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XPS(X-ray photoelectron spectrometer)
ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)
초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성(特性) X-ray를 조사하여 시료 내에 전자를 밖으로 튀어나오게 하여 그 전자의 운동에너지와 강도를 측정(測定) 하는 것에 의해 물질 내에 있는 고유의 전자 결합에너지, 전자의 에너지 준위와 양을 아는 방법이다.
1. 원리와 특성(特性)
XPS는 이 기술을 개발한 스웨덴 Uppsala 대학교의 Siegbahn에 의해 붙여진 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)라는 별명으로 흔히 알려져 있으며 그 원리는 다음과 같다.ESCA는 전자를 이용한 표면分析(분석) 방법으로 표면의 원소 구성비(elemental composition)와 각 원소의 화학결합상태(chemical state)까지 알아낼 수 있다 모든 원소들의 전자는 K각, L각등 각(Shell)구조를 이루고 있으며, 그 내각 전자들은 각기 독특한 에너지준위(Binding Energy)를 가지고 있다 예를 들어 산소의 1s 전자는 결합에너지가 531eV이고 탄소의 1s 전자의 결합에너지는 284eV, 실리콘 원자의 2p전자는 99eV의 결…(To be continued )
1)Ek 〓 hv - Eb - Ф
2)L-S coupling
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다.
